Yamato PR200 – Lò phản ứng plasma dạng thùng, công suất RF 200 W
Yamato PR200 là hệ thống lò phản ứng plasma dạng thùng nhỏ gọn, sử dụng nguồn RF tối đa 200 W ở tần số 13,56 MHz. Thiết bị phù hợp với các ứng dụng tẩy tro bằng plasma, khắc plasma, làm sạch khô và xử lý bề mặt trong nghiên cứu vật liệu, điện tử và chất bán dẫn.
Đặc điểm nổi bật
- Công suất RF tối đa: 200 W.
- Tần số hoạt động: 13,56 MHz.
- Thiết kế buồng phản ứng dạng thùng nhỏ gọn, tiết kiệm không gian.
- Tự động điều chỉnh cộng hưởng RF.
- Công suất RF có thể điều chỉnh theo từng ứng dụng.
- Buồng phản ứng bằng thủy tinh Pyrex.
- Hệ thống cấp khí oxy làm khí phản ứng, tích hợp lưu lượng kế.
Ứng dụng
- Tẩy tro bằng plasma và loại bỏ vật liệu hữu cơ.
- Khắc plasma.
- Làm sạch khô bề mặt.
- Hoạt hóa và xử lý bề mặt vật liệu.
- Nghiên cứu điện tử, chất bán dẫn và vật liệu tiên tiến.
Thông số kỹ thuật chính
| Model | PR200 |
| Hệ thống | Chế độ DP, dạng thùng |
| Công suất RF | Tối đa 200 W |
| Tần số | 13,56 MHz |
| Phương thức điều chỉnh cộng hưởng | Tự động |
| Buồng phản ứng | Thủy tinh Pyrex, Ø100 × 160 mm |
| Khí phản ứng | 1 đường cấp khí oxy, có lưu lượng kế |
| Kích thước ngoài | 350 × 400 × 500 mm |
| Nguồn điện | AC115V / AC220V |
| Khối lượng | 25 kg |
Câu hỏi thường gặp
Yamato PR200 được sử dụng để làm gì?
Yamato PR200 được sử dụng cho các ứng dụng tẩy tro bằng plasma, khắc plasma, làm sạch khô và xử lý bề mặt trong nghiên cứu vật liệu, điện tử và chất bán dẫn.
Công suất RF tối đa của Yamato PR200 là bao nhiêu?
Yamato PR200 có công suất RF tối đa 200 W ở tần số 13,56 MHz.
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.