Hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử Savannah

Hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử Savannah

Công nghệ lắng đọng lớp nguyên tử được ứng dụng rộng rãi trong nghiên cứu công nghệ vật liệu và bán dẫn. Giải pháp tối ưu hóa kích thước vật liệu mở ra đột phá cho các ngành công nghiệp như: Năng lượng, quang học, điện tử, cấu trúc nano, y sinh... 

Nguyên tắc của công nghệ lắng đọng lớp nguyên tử là một phương pháp lắng đọng hợp hóa học CVD (chemical vapor dpossiton) dưới dạng các phản ứng tiền chất trong 2 bán phản ứng. Vì vậy, ALD là phương pháp tạo màng tự giới hạn, có thể khống chế màng chính xác.

Thiết bị công nghệ lắng đọng nguyên tử gồm Savannah, Fiji, Phoenix, không những có thể làm lắng đọng các lớp phủ không hoàn toàn đồng nhất về độ dày mà còn phủ ngay cả vào sâu bên trong các lỗ trống, các rãnh và phần khuyết. Khả năng xử lý các tiền chất được sử dụng lắng đọng phủ màng gồm khí lỏng và rắn.
Hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử Phoenix
Model: Phoenix
Hãng sản xuất: Veeco-CNT
Xuất xứ: USA

 
Hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử Fiji
Model: Fiji
Hãng sản xuất: Veeco-CNT
Xuất xứ: USA
Hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử Savannah
Model: Savannah
Hãng sản xuất: Veeco-CNT
Xuất xứ: USA
youtube
Facebook
Twitter